項目概述

       半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的當(dāng)下，潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。近期，位于北京市大興區(qū)的半導(dǎo)體潔凈室改造項目成功交付，該項目總建筑面積約為5700㎡，建筑共3層，1-2層為設(shè)備生產(chǎn)車間，3層為辦公區(qū)域。

       本次改造涵蓋空調(diào)及凈化系統(tǒng)、供配電系統(tǒng)、鋼結(jié)構(gòu)系統(tǒng)等多個關(guān)鍵領(lǐng)域，尤其在空調(diào)及凈化系統(tǒng)的設(shè)計與搭建上，充分結(jié)合半導(dǎo)體生產(chǎn)的高要求，打造出高效、節(jié)能且穩(wěn)定的系統(tǒng)方案。

運用方案

       在熱源供應(yīng)方面，項目充分考慮季節(jié)變化因素，實現(xiàn)靈活切換。供熱季利用園區(qū)現(xiàn)狀市政蒸汽，專門設(shè)置2臺板式換熱器，一次側(cè)接入現(xiàn)狀減壓后的0.2MPa蒸汽管道，二次側(cè)供回水溫穩(wěn)定控制在60/50℃，確保冬季生產(chǎn)環(huán)境的溫暖適宜。過渡季節(jié)則啟用新增的風(fēng)冷熱泵機組供熱，供回水溫保持在55/50℃，滿足季節(jié)交替時的溫度需求。同時，熱水系統(tǒng)配置3臺水泵，采用2用1備的模式，保障熱水供應(yīng)的連續(xù)性與可靠性。

       冷源系統(tǒng)是維持潔凈室低溫環(huán)境的核心。項目新增2臺華奕螺桿式風(fēng)冷冷水機組和1臺華奕螺桿式風(fēng)冷熱泵機組，為潔凈室提供 6/12℃的低溫冷凍水。在制冷工況下，運行2臺機組，且機組總裝機容量與計算冷負(fù)荷的比值不大于 1.1，實現(xiàn)高效節(jié)能運行。為確保工藝生產(chǎn)的可靠性及連續(xù)性，其中1臺風(fēng)冷冷水機組作為備用，應(yīng)對突發(fā)情況。此外，項目還設(shè)置2臺板換換熱器，為百級區(qū)提供 13/19℃的中溫冷水，滿足不同區(qū)域的精準(zhǔn)控溫需求。在水循環(huán)方面，低溫冷凍水系統(tǒng)配置3臺水泵，采用2用1備模式，且冷水機組和水泵設(shè)置臺數(shù)控制，可根據(jù)實際負(fù)荷調(diào)整運行設(shè)備數(shù)量；中溫冷凍水系統(tǒng)配置2臺水泵，采用1用1備模式，雙重保障冷源供應(yīng)穩(wěn)定。

       針對半導(dǎo)體潔凈室不同區(qū)域的潔凈度要求，項目采用差異化的空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計。十萬級區(qū)采用華奕 MAU（新風(fēng)機組）+RCU（循環(huán)風(fēng)機組）機組形式，通過高效的空氣處理與循環(huán)，維持區(qū)域內(nèi)的潔凈度與溫濕度穩(wěn)定；百級區(qū)作為更高潔凈度要求的區(qū)域，采用華奕 MAU+FFU（風(fēng)機過濾單元）+DCC（干盤管）機組形式，進(jìn)一步提升空氣凈化效果，確保生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到百級潔凈標(biāo)準(zhǔn)，為高精度半導(dǎo)體生產(chǎn)提供有力支撐。

實現(xiàn)效果

       該方案的空調(diào)系統(tǒng)由我司全程集成交付，從冷熱源系統(tǒng)到末端空調(diào)系統(tǒng)，實現(xiàn)了所有子系統(tǒng)之間的無縫銜接與最優(yōu)匹配，避免了不同系統(tǒng)間協(xié)同不暢的問題，大幅提升整體系統(tǒng)的運行效率。同時，系統(tǒng)內(nèi)置臺數(shù)控制等智能策略，能夠根據(jù)實際負(fù)荷自動調(diào)整設(shè)備運行狀態(tài)，在保證潔凈室環(huán)境效果的前提下，最大化降低能耗，減少企業(yè)運營成本。

      不僅如此，該系統(tǒng)通過風(fēng)冷熱泵的多工況協(xié)同應(yīng)用，充分發(fā)揮設(shè)備在不同季節(jié)、不同負(fù)荷下的優(yōu)勢，提升能源利用率；末端空調(diào)的精準(zhǔn)化、干濕分離設(shè)計，進(jìn)一步優(yōu)化了空氣處理效果，既滿足了半導(dǎo)體生產(chǎn)極高的工藝環(huán)境要求，又具備顯著的節(jié)能效益和突出的創(chuàng)新價值，成功構(gòu)建起現(xiàn)代化的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，也為行業(yè)內(nèi)潔凈室改造項目提供了可借鑒的優(yōu)秀范例！